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J-GLOBAL ID：200903025154851095
パターン検査装置とその方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994310190
Publication number (International publication number)：1996167638
Application date： Dec. 14, 1994
Publication date： Jun. 25, 1996
Summary：
【要約】【目的】パターン検査装置でえられた欠陥を光学的に自動分類できるパターン検査装置を提供する。【構成】対物レンズを介して対象物の検出視野においてほぼ一様に照明を施す照明手段と、前記対象物からの反射光を光電変換により画像とする画像検出手段と、前記検出画像と基準画像との画像比較手段と、対物レンズの開口数の外より対象物に照明を施す照明手段と前記対象物からの散乱光を光電変換により画像検出手段と、この2つの画像より欠陥の種類を自動分類する手段を具備することを特徴とするパターン検査装置。【効果】パターン欠陥と異物を同時に検出することができ、これらのデータを比較することにより、パターン欠陥と異物を弁別することができるパターン検査装置を提供することができる。
Claim (excerpt)：
対物レンズを介して対象物の検出視野においてほぼ一様に照明を施す照明手段と、前記対象物からの反射光を光電変換により画像とする画像検出手段と、前記検出画像と基準画像との画像比較手段と対物レンズの開口数の外より対象物に照明を施す照明手段と前記対物レンズの瞳位置と共役な位置に空間フィルタを具備し、前記対象物からの散乱光を光電変換により画像とする瞳視野画像検出手段と具備することを特徴とするパターン検査装置。
Patent cited by the Patent：
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