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J-GLOBAL ID：200903025164224200

走査型トンネル顕微鏡用劈開・剥離装置

Inventor： 末吉 孝
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 菅井 英雄 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993335257
Publication number (International publication number)：1995192677
Application date： Dec. 28, 1993
Publication date： Jul. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 大気圧型STMにおいて観察雰囲気下において試料の劈開あるいは剥離処理を容易かつ確実に行う。【構成】 探針及び試料を含む観察部を外気から遮蔽する筐体と、当該筐体内部のベースプレート上でスライド可能な試料ステージと、当該試料ステージに載置される試料ホルダとを備え、大気圧雰囲気で試料の観察を行う走査型トンネル顕微鏡において、前記試料ホルダの上面に載置され、当該上面に接しながら試料に向けて摺動可能な試料押圧部材と、前記試料ホルダの上面に固定され、当該試料押圧部材の摺動方向を規制するガイド部材と、当該試料押圧部材とガイド部材とを連結する弾性部材と、前記筐体内面に取り付けられ、前記試料ステージのスライドにより前記試料押圧部材の端部に当接して相対的に押圧力を与えるための固定部材とを設けたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

探針及び試料を含む観察部を外気から遮蔽する筐体と、当該筐体内部のベースプレート上でスライド可能な試料ステージと、当該試料ステージに載置される試料ホルダとを備え、雰囲気中で試料の観察を行う走査型トンネル顕微鏡において、前記試料ホルダの上面に載置され、当該上面に接しながら試料に向けて摺動可能な試料押圧部材と、前記試料ホルダの上面に固定され、当該試料押圧部材の摺動方向を規制するガイド部材と、当該試料押圧部材とガイド部材とを連結する弾性部材と、前記筐体内面に取り付けられ、前記試料ステージのスライドにより前記試料押圧部材の端部に当接して相対的に押圧力を与えるための固定部材とを設けたことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡用劈開・剥離装置。

IPC (3)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/28 ,  G01N 37/00