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J-GLOBAL ID：200903025241849897

縮小投影レンズ

Inventor： 研野孝吉
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 韮澤 弘 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991281223
Publication number (International publication number)：1993034593
Application date： Oct. 28, 1991
Publication date： Feb. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 レンズ系硝材総肉厚が薄くて透過率が良く、広い露光領域と高い解像力を持った物体側、像側両テレセントリック縮小投影レンズ。【構成】 正の第1レンズ群I、負の第2レンズ群II、正の第3レンズ群III 、像側に凹面を向けたメニスカスレンズを少なくとも1枚有する正の第4レンズ群IVで構成され、各レンズ群は屈折率1.6以下のガラス材料からなる単数又は複数のレンズにより構成され、かつ、第2レンズ群II、第4レンズ群IVにそれぞれ少なくとも1面の非球面が配置されている。

Claim (excerpt)：

物体側より順に、正の第1レンズ群、負の第2レンズ群、正の第3レンズ群、像側に凹面を向けたメニスカスレンズを少なくとも1枚有する正の第4レンズ群で構成され、各レンズ群は屈折率1.6以下のガラス材料からなる単数又は複数のレンズにより構成され、かつ、第2レンズ群、第4レンズ群にそれぞれ少なくとも1面の非球面が配置されていることを特徴とする縮小投影レンズ。

IPC (3)：

G02B 13/24 ,  G02B 13/14 ,  G02B 13/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭63-118115
  
• 特開昭60-140310
  
• 特開昭63-118115
  
• 特開昭60-140310