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J-GLOBAL ID：200903025283902836

光電導素子およびその製造方法

Inventor： 池田 幸治 ,  田中 豊英
Applicant, Patent owner： ラサ工業株式会社
Agent (1)： 尾股 行雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995247095
Publication number (International publication number)：1997092910
Application date： Sep. 26, 1995
Publication date： Apr. 04, 1997
Summary：

【要約】【課題】 有機光電導体を用いて、滑らかな表面と緻密な組織を有し、かつ、耐電圧特性に優れた光電導素子およびその製造方法を提供することを解決すべき課題とする。【解決手段】 電極3上に、高周波イオンプレーティングによって有機光電導体Aを真空蒸着して光電導層4を形成し、この光電導層上に他の電極5を真空蒸着してなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

電極上に、高周波イオンプレーティングによって有機光電導体を真空蒸着して光電導層を形成し、この光電導層上に他の電極を真空蒸着してなることを特徴とする光電導素子。

IPC (3)：

H01L 51/10 ,  H01L 31/08 ,  C23C 14/32

FI (2)：

H01L 31/08 T ,  C23C 14/32 Z