Pat

J-GLOBAL ID：200903025289788709

プラズマエッチング装置におけるコンタミナント捕獲用コーティング層の形成方法および副次生成粒子の付着蓄積制御方法、並びにコンタミナント捕獲コーティングを有したプラズマエッチング装置

Inventor： シャモイル シャモイリアン ,  ヤン イー
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 大西 正悟 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994272849
Publication number (International publication number)：1995312363
Application date： Oct. 12, 1994
Publication date： Nov. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 プラズマエッチング生成物によりワークピースが汚染されるのを防止する。【構成】 ワークピースのプラズマエッチング処理において、このワークピースが浮遊する粒子状コンタミナントと接触して汚染されるのを防止する方法である。プラズマに曝されたときにポリマーフィルムを形成する能力のあるガス状の物質がポリマーコーティング形成のために用いられる。このコーティングにより粒子状のコンタミナントがエッチングチャンバー壁面上に捕獲され、これが剥がれる等してワークピース表面に付着しないようにされる。このようなガス状物質の一例としてハロカーボンガスがある。

Claim (excerpt)：

プラズマ処理において副次的に生成される粒子をチャンバー壁面に固定するためのコーティング層をプラズマエッチングチャンバー内に形成する方法であって、a)ワークピース支持台を有し、プラズマ処理副次生成物がその内壁面に付着するような前記プラズマエッチングチャンバーを設け、b)プラズマグロー放電条件下で揮発する少なくとも一つのカーボン含有物質を前記チャンバー内に供給し、c)前記プラズマエッチングチャンバー内でプラズマを活性化させ、d)前記チャンバー内を100〜700ミリトールの圧力で維持するとともにワークピース支持台の温度を十分な時間の間前記チャンバーの壁温より高い状態で維持して、前記カーボン含有物質をポリマー化させ、前記チャンバーの内壁面に少なくとも厚さ0.1ミクロン(1,000オングストローム)の層からなる表面コーティングを形成させ、これにより、相互に連結するネットワーク状のポリマーフィルムをコンタミナント粒子の周りに形成してこのコンタミナント粒子を捕獲し、前記プラズマエッチングチャクバー内からコンタミナントをなくしてさらなるエッチング処理に供するようにしたことを特徴とするプラズマエッチング装置におけるコンタミナント捕獲用コーティング層の形成方法。

IPC (2)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00

FI (2)：

H01L 21/302 B ,  H01L 21/302 F