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J-GLOBAL ID：200903025299828733

CVD原料用の有機化合物及び該有機化合物を用いた金属又は金属化合物薄膜の製造方法

Inventor： 斎藤 昌幸
Applicant, Patent owner： 田中貴金属工業株式会社
Agent (1)： 田中 大輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002230271
Publication number (International publication number)：2004067601
Application date： Aug. 07, 2002
Publication date： Mar. 04, 2004
Summary：

【解決課題】CVD法により金属薄膜又は金属化合物薄膜を製造するための原料について、複数の要求特性を満足させる手法及びそれによる原料を提示することを目的とする。【解決手段】本発明は、金属原子に配位子が配位する第一の有機金属化合物に、前記第一の有機金属化合物と同一の中心金属に、異なる配位子が配位し、かつ、第一の有機金属化合物と分解挙動が異なる第二の有機化合物を少なくとも一つ混合してなるCVD原料用の有機化合物。特に、第一の有機金属化合物としてシクロペンタジエン錯体又はその誘導体を、第二の有機金属化合物としてβ-ジケトナト化合物を選択し、これらを混合すると、取り扱い性及び薄膜の密着性のこれまで両立が困難であった特性を具備するCVD用原料を得ることができる。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

金属原子に配位子が配位する第一の有機金属化合物に、前記第一の有機金属化合物と同一の中心金属に、異なる配位子が配位し、かつ、第一の有機金属化合物と分解挙動が異なる第二の有機化合物を少なくとも一つ混合してなるCVD原料用の有機化合物。

IPC (7)：

C07C49/92 ,  C07F1/10 ,  C07F1/12 ,  C07F15/00 ,  C07F17/00 ,  C07F17/02 ,  C23C16/448

FI (12)：

C07C49/92 ,  C07F1/10 ,  C07F1/12 ,  C07F15/00 A ,  C07F15/00 B ,  C07F15/00 C ,  C07F15/00 D ,  C07F15/00 E ,  C07F15/00 F ,  C07F17/00 ,  C07F17/02 ,  C23C16/448

F-Term (24)：

4H006AA01 ,  4H006AB78 ,  4H006AB91 ,  4H048AA01 ,  4H048AA03 ,  4H048AB78 ,  4H048AB84 ,  4H048AB91 ,  4H048VA57 ,  4H048VA58 ,  4H048VB10 ,  4H050AA01 ,  4H050AA03 ,  4H050AB78 ,  4H050AB84 ,  4H050AB91 ,  4H050WB11 ,  4H050WB21 ,  4K030AA11 ,  4K030BA01 ,  4K030CA04 ,  4K030EA01 ,  4K030FA10 ,  4K030LA15