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J-GLOBAL ID:200903025305282926

圧電素子およびその使用方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 高山 宏志
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000112963
Publication number (International publication number):2001345492
Application date: Apr. 14, 2000
Publication date: Dec. 14, 2001
Summary:
【要約】【課題】 X-Yステージやリニアモータ、回転モータ、或いはパーツフィーダ等の搬送機等に用いられる、ずり剪断変形(15モード)を利用して駆動する圧電素子およびその使用方法を提供する。【解決手段】 圧電素子10は、所定ピッチPで平行に並べられた複数の線状電極12a〜15a・12b〜15bを1本おきに接続してなる1組の内部電極が表面に形成された板状の圧電体11a〜11dを、線状電極12a〜15a・12b〜15bの長さ方向(Y軸方向)と圧電体11a〜11dの厚み方向(Z軸方向)の両方向に垂直な方向であるX軸方向に、所定ピッチPの半分の間隔ほどずらしながら積層し、一層おきに所定ピッチPほどずれた位置にある線状電極を接続した構造を有する。
Claim (excerpt):
圧電体に電界方向が互いに直交する2組の電極対が形成されてなる圧電素子であって、少なくとも一方の電極対の電極は線状に形成されており、他方の電極対によって分極が行われた後に、前記線状の電極対に電圧を印加することによって、前記圧電体がずり剪断変形を起こすことを特徴とする圧電素子。
IPC (3):
H01L 41/09 ,  H01L 41/083 ,  H02N 2/00
FI (3):
H02N 2/00 A ,  H01L 41/08 L ,  H01L 41/08 Q

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