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J-GLOBAL ID：200903025313383529

超純水の製造方法

Inventor： 老沼 正芳 ,  小泉 求 ,  水庭 哲夫
Applicant, Patent owner： 栗田工業株式会社
Agent (1)： 重野 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993022312
Publication number (International publication number)：1994233997
Application date： Feb. 10, 1993
Publication date： Aug. 23, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 市水、地下水、工業用水を原水として、これを生物処理した後、一次純水製造装置及び二次純水製造装置で処理して超純水を製造する方法において、有機物(C源)を添加する方法に代る手段により、生物処理工程における尿素分解速度を向上させて、TOCが著しく低減された超純水を製造する。【構成】 市水、地下水、工業用水等の尿素を含む原水に、超純水による半導体洗浄回収水20Bを混合して生物処理した後、一次純水製造装置B及び二次純水製造装置Cに通水する。

Claim (excerpt)：

原水を、超純水による半導体洗浄回収水と混合して生物処理した後、一次純水製造装置及び二次純水製造装置に通水することを特徴とする超純水の製造方法。

IPC (6)：

C02F 9/00 ,  B01D 61/58 ,  C02F 1/42 ,  C02F 1/44 ,  C02F 3/08 ZAB ,  C02F 3/10 ZAB