Pat
J-GLOBAL ID：200903025315369248
ポジ型感光性樹脂組成物
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998350165
Publication number (International publication number)：1999242338
Application date： Dec. 09, 1998
Publication date： Sep. 07, 1999
Summary：
【要約】【課題】 高感度で高残膜率のパターンを得ることができ、封止樹脂及び基板との密着性に優れるポジ型感光性樹脂、及び封止樹脂との密着性に優れるポジ型感光性樹脂を提供する。【解決手段】 一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部と、フェノール化合物(C)1〜30重量部と、有機ケイ素化合物1〜10重量部(D)からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】
Claim (excerpt)：
一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部と一般式(2)及び(3)のフェノール化合物(C)の合計1〜30重量部と一般式(4)、(5)、(6)から選ばれた少なくとも一つの有機ケイ素化合物(D)1〜10重量部とからなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】【化3】【化4】【化5】【化6】
IPC (5)：
G03F 7/075 501
, G03F 7/022 601
, G03F 7/037
, H01L 21/027
, C08G 69/42
G03F 7/075 501
, G03F 7/022 601
, G03F 7/037
, C08G 69/42
, H01L 21/30 502 R
