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J-GLOBAL ID：200903025353198074

張り合わせウエハ

Inventor： 海野 秀之 ,  桜井 哲真 ,  下口 信幸
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社 ,  エヌティティエレクトロニクステクノロジー株式会社
Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994130258
Publication number (International publication number)：1995335511
Application date： Jun. 13, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】 強靱で割れ難く、高歩留りな張り合わせウエハを得る。【構成】 (100)面のウエハ1と(111)面のウエハ2を張り合わせる。

Claim (excerpt)：

結晶方位の異なるウエハを互いに張り合わせたことを特徴とする張り合わせウエハ。