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J-GLOBAL ID：200903025359713930

錫添加酸化インジウム三元機能膜及びその製造方法

Inventor： 金子 正治 ,  村上 健司
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団
Agent (1)： 田中 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996282106
Publication number (International publication number)：1998130097
Application date： Oct. 24, 1996
Publication date： May. 19, 1998
Summary：

【要約】【目的】高配向性、低抵抗及び透明性を有するために透明電極ばかりでなく結晶基板としても各種デバイスや機能性結晶膜の形成に適した錫添加酸化インジウム膜及びその製造方法を提供する。【構成】ガラス基板上に(111)面に強く配向し、80%以上の光透過率を有し、3.5×10~4〜10×10~4Ωcmという低抵抗を有する錫添加酸化インジウム三元機能膜であって、例えば、In(C5H7O2)3及び(C4H9)2Sn(OCOCH3)2を含有するアルコール溶液を、加熱された基板上に噴霧して、(111)面配向を有する高配向の錫添加酸化インジウム膜を基板上に製膜することによって前記三元機能を有する錫添加酸化インジウム膜を製膜することができる。

Claim (excerpt)：

ガラス基板上に(111)面に強く配向し、80%以上の光透過率を有し、10×10~3〜10×10~4Ωcmという低抵抗を有する錫添加酸化インジウム三元機能膜。

IPC (6)：

C30B 29/22 ,  C01G 15/00 ,  C01G 19/00 ,  C03C 17/25 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 503

FI (6)：

C30B 29/22 Z ,  C01G 15/00 B ,  C01G 19/00 A ,  C03C 17/25 A ,  H01B 5/14 A ,  H01B 13/00 503 C

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

• 特開平4-276078
  
• 特開昭60-157109
  
• 透明導電膜及びその作製方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-299859   Applicant：シャープ株式会社
• 透明導電材の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-083366   Applicant：株式会社関西新技術研究所
• 太陽電池
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-266858   Applicant：富士ゼロックス株式会社
• 耐熱性透明導電性窓材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-167855   Applicant：富士ゼロックス株式会社
• 特開昭63-089436
  

Cited by examiner (2)

• 特開平4-276078
  
• 特開昭60-157109