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J-GLOBAL ID：200903025401159841

走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
森本 高史

About 森本 高史


Applicant, Patent owner：
日立建機株式会社

About 日立建機株式会社


Agent (1)： 田宮 寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996031368
Publication number (International publication number)：1997203740
Application date： Jan. 25, 1996
Publication date： Aug. 05, 1997
Summary：
【要約】【課題】 測定対象箇所を特定する光学顕微鏡が併用された走査型プローブ顕微鏡で、探針を交換したときに、探針と光学顕微鏡の位置合せを容易、安価かつ確実に行う。【解決手段】 XY平面内で試料を変位させるXYステージ12と、試料表面を測定するように設けられた探針23とを備え、さらに、探針を真上位置から観察できる第1の光学顕微鏡19と、第1の光学顕微鏡から既知の一定距離の位置に配置された第2の光学顕微鏡21と、探針の位置を調整する探針位置決め機構18を備える。第1の光学顕微鏡には作動距離が大きなものが使用され、第2の光学顕微鏡には高倍率であって作動距離が小さいものが使用される。
Claim (excerpt)：
平面内で試料を変位させる移動手段と、前記試料の表面を測定するように設けられた探針を備える走査型プローブ顕微鏡において、前記探針を常に上方の一定位置から観察できるように配置された第1の光学顕微鏡と、前記探針から離れた位置であって前記第1の光学顕微鏡から既知の一定距離の位置に配置された第2の光学顕微鏡と、前記探針の位置を調整する探針位置決め手段とを備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G02B 21/00 ,  H01J 37/28
FI (4)：
G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z ,  G02B 21/00 ,  H01J 37/28 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (12)
  • プローブ顕微鏡装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-075787   Applicant：日立建機株式会社
  • 同軸型走査トンネル顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-199464   Applicant：株式会社ニコン
  • 表面計測装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-153772   Applicant：富士通株式会社
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Cited by examiner (1)
  • 特開平4-058102

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