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J-GLOBAL ID：200903025441139703

ガラス導波路の製造方法

Inventor： 徳永 利秀 ,  本郷 晃史
Applicant, Patent owner： 日立電線株式会社
Agent (1)： 松本 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992340328
Publication number (International publication number)：1994183783
Application date： Dec. 21, 1992
Publication date： Jul. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】操作性、量産性に優れ、しかも高NAのコアをもつガラス導波路を得る。【構成】基板に透明石英ガラス基板11を用いる。CO2 レーザ光を照射しながら、可撓性のあるCO2 レーザ用中空導波路13の出射端を、コアパターンに合った動きをさせ、コアパターン用溝12を石英ガラス基板11の表面に形成する。基板11表面全面にコアとなるGeO2 -P2 O5 -SiO2 系の多孔質ガラス膜をCVD法で形成し、加熱により透明ガラス化してコアガラス膜21を形成する。コアパターン用溝12以外の石英ガラス基板11上に形成されたコアガラス膜21をHFエッチング液で除去して、溝12内にコア22を形成する。基板11上にクラッドとなるP2 O5 -B2 O3 -SiO2 系の多孔質ガラス膜を形成し、加熱により屈折率がほぼ石英ガラスに近いクラッドガラス膜23を形成する。

Claim (excerpt)：

ガラス基板または表面にガラスを形成した基板の表面にCO2 レーザ光を照射してコアパターン用の溝を形成し、このコアパターン用溝内にコアを形成し、このコアを形成した基板表面にクラッドを形成することを特徴とするガラス導波路の製造方法。

IPC (4)：

C03C 17/02 ,  C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  G02B 6/12