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J-GLOBAL ID：200903025459672239
低発塵性転がり軸受
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鎌田 文二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994325097
Publication number (International publication number)：1996177866
Application date： Dec. 27, 1994
Publication date： Jul. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 低発塵性転がり軸受を、使用温度300°Cに耐える耐熱性を有すると共に、真空の使用環境、特に高精度の半導体製造設備において、充分に低発塵性を発揮し、かつ長寿命であるものとする。【構成】 転がり軸受の保持器を、体積比5〜25%の連通気孔を有するポリイミド樹脂粉末(平均粒径40μm以下)の焼結体にフッ素化油を含浸したものから形成し、これを組み込んだ低発塵性転がり軸受、または半導体製造設備用転がり軸受とする。
Claim (excerpt)：
転がり軸受の保持器を、連通気孔を有するポリイミド樹脂粉末の焼結体にフッ素化油を含浸したものから形成したことを特徴とする低発塵性転がり軸受。
IPC (2)：
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