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J-GLOBAL ID：200903025473302835

スピンナーヘツド

Inventor： 榊原 勝
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991293919
Publication number (International publication number)：1993104055
Application date： Oct. 15, 1991
Publication date： Apr. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】 コート液が基板外周端面及び裏面に回り込まないスピンナーヘッドを提供する。【構成】 軸部1aと一体に形成された円盤状の本体1の外径は基板外径よりも大きく、基板は本体1上面に吸着固定される。本体1の基板外周位置にほぼ相当する箇所には円周状の溝1eが設けられており、溝1e内には複数の通気孔1cが開口している。溝1eの外側には、円周状の突条1dが設けられており、通気孔1cに気体(空気やN2 等)を送りこむと、気体は溝1eに溜り、基板端面と突条1dの間の隙間から吹き出す。

Claim (excerpt)：

塗布すべき基板の外径より大きな外径を有し、前記基板と一体に回転する円盤状の本体と、該本体周辺部の前記基板外周にほぼ相当する位置に設けられた円周状の溝と、前記本体内部を通って前記溝内に開口した通気孔と、前記溝の外側に設けられた円周状の突条とを備えたことを特徴とするスピンナーヘッド。

IPC (4)：

B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  G11B 7/26 531 ,  H01L 21/027