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J-GLOBAL ID：200903025511020326

スペックルパターン分散装置及びレーザ光照射装置

Inventor： 松浦 裕
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 細江 利昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003151984
Publication number (International publication number)：2004354671
Application date： May. 29, 2003
Publication date： Dec. 16, 2004
Summary：

【課題】マルチモード光導波路を工夫することにより、スペックルパターンを分散させることが可能なスペックルパターン分散装置を提供する。【解決手段】レーザ光源1からのレーザ光2を集光レンズ3によって集光し、マルチモード光ファイバ束4に入射するようになっている。マルチモード光ファイバ束4内を伝搬したレーザ光は、マルチモード光ファイバ束4の出射側よりレーザ光5として出射される。振動発生モータ6を作動させ、マルチモード光ファイバ束4の形状を時間的に変化させることにより、マルチモード光ファイバ束4内を伝播するレーザ光の伝搬モードを時間的に変動させる。これによりスペックルパターンも時間的に変動する。観測手段の積分時間に対し十分短い周期でスペックルパターンを変動させれば、スペックルパターンが時間的に平均化され、出射光は均一強度分布として観測される。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

レーザ光源からのレーザ光を、マルチモード光導波路を使用して伝搬し、前記マルチモード光導波路から出射させる光照射装置において、発生するスペックルパターンを分散させる装置であって、前記マルチモード光導波路を伝搬するマルチモードのレーザ光の伝搬モードを時間的に変化させる伝搬モード変動手段を有することを特徴とするスペックルパターン分散装置。

IPC (5)：

G02B26/06 ,  G02B27/48 ,  G02F1/01 ,  G02F1/035 ,  G02F1/125

FI (5)：

G02B26/06 ,  G02B27/48 ,  G02F1/01 C ,  G02F1/035 ,  G02F1/125

F-Term (20)：

2H041AA22 ,  2H041AA23 ,  2H041AB30 ,  2H041AB38 ,  2H041AC01 ,  2H041AC02 ,  2H041AC07 ,  2H041AZ01 ,  2H079AA02 ,  2H079AA06 ,  2H079AA07 ,  2H079BA01 ,  2H079CA04 ,  2H079CA24 ,  2H079EA09 ,  2H079EB04 ,  2H079EB25 ,  2H079EB27 ,  2H079HA08 ,  4E068CE08