多環式共重合体組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大島正孝
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000558145
Publication number (International publication number)：2002519487
Application date： Jun. 18, 1999
Publication date： Jul. 02, 2002
Summary：

【要約】少なくとも1種類の多環式モノマーと少なくとも1種類のアクリル系モノマーとから重合された繰返し単位を含有する共重合体組成物が開示される。この共重合体は第VIII族の遷移金属触媒の存在下における付加重合によって形成される。この共重合体は、ポリマー主鎖からぶら下がっているヒドロカルビルおよび/または官能性置換基を含有する。ある実施態様においては、この共重合体は酸不安定性基を含有するエステルペンダント置換基を含有する。この共重合体は、感結像性放射線性であるレジスト材料として有用である。

Claim (excerpt)：

式【化1】ここでR1〜R4は、独立に、-(CH2)nC(O)OR5、-(CH2)n-C(O)OR5、-(CH2)n-OR5、-(CH2)n-OC(O)R5、-(CH2)n-C(O)R5、-(CH2)n-OC(O)OR5、および-(CH2)nC(O)OR6から選択される基を表し、ここでmは0〜5の整数を表し、nは独立に0〜10の整数を表し、R5は独立に水素、直鎖状および分岐状(C1〜C10)アルキル、直鎖状および分岐状(C2〜C10)アルケニル、直鎖状および分岐状(C2〜C10)アルキニル、(C5〜C12)シクロアルキル、(C6〜C14)アリール、(C7〜C24)アラルキル、およびこれらのハロゲン化置換基を表し、R6は酸不安定性部分を表し、R8は水素またはメチルを表し、およびR9は独立に、水素、酸不安定性基、直鎖状および分岐状(C1〜C10)アルキル、直鎖状および分岐状(C2〜C10)アルケニル、直鎖状および分岐状(C2〜C10)アルキニル、(C5〜C12)シクロアルキル、(C6〜C14)アリール、(C7〜C24)アラルキル、およびこれらのハロゲン化置換基から選択される、の繰返し単位からなる共重合体組成物。

IPC (3)：

C08F232/08 , C08F220/00 , G03F 7/039 601

FI (3)：

C08F232/08 , C08F220/00 , G03F 7/039 601

F-Term (42)：

2H025AA01 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB08 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB60 , 2H025FA17 , 4J100AJ02Q , 4J100AL03Q , 4J100AL04Q , 4J100AL05Q , 4J100AL08Q , 4J100AL75Q , 4J100AR11P , 4J100BA02P , 4J100BA02Q , 4J100BA16P , 4J100BA20P , 4J100BA22P , 4J100BA72Q , 4J100BB00Q , 4J100BC02Q , 4J100BC03Q , 4J100BC04Q , 4J100BC08P , 4J100BC09P , 4J100BC09Q , 4J100BC43Q , 4J100BC53P , 4J100BC53Q , 4J100BC58P , 4J100BC58Q , 4J100CA04 , 4J100JA32 , 4J100JA36

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

メタクリル酸メチル共重合体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-034890 Applicant：株式会社クラレ
特公昭39-029192
特開昭63-210114

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