固体撮像装置

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：前田弘 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992263569
Publication number (International publication number)：1994120461
Application date： Oct. 01, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】半導体基板上に多層膜を形成した固体撮像装置において、各層間での入射光の反射をなくし、感度劣化,画像劣化等を防止する。【構成】半導体基板1の受光部2の上に、平坦化層4,カラーフィルター層5及び中間層6等の多層膜からなるフィルター膜を設けた場合、フィルター膜全体を同一の屈折率を有する材料で形成する。また、半導体基板1の受光部2の上に、平坦化層4,カラーフィルター層5及び中間層6等からなる中間膜を介してマクロレンズ層7を設けた場合、マイクロレンズ層7と中間膜とを同じ屈折率を有する材料で形成する。この構成により、入射光がそれぞれの層界面にて反射することなく受光部2に到達するため、固体撮像装置の感度劣化や、再反射光の他の受光部への入射による画像劣化、及び各層のパターンの不均一に起因する感度のバラツキを有効に防止することができる。

Claim (excerpt)：

半導体基板と、該半導体基板上に形成された受光部と、該受光部上に形成された多層膜からなるフィルター膜とを有する固体撮像装置において、上記フィルター膜は、屈折率が同一の材料で形成されていることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3)：

H01L 27/14 , H04N 5/335 , H04N 9/07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平4-037165
特開昭63-015204
特開平4-093801

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