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J-GLOBAL ID：200903025538578957
拡散板成形用母型の作製方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
奈良 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993142770
Publication number (International publication number)：1994331806
Application date： May. 21, 1993
Publication date： Dec. 02, 1994
Summary：
【要約】【目的】 干渉縞を生じることなくしかも自然なボケ像を形成することができる拡散板を製造可能な拡散板成形用母型の作製方法を提供する。【構成】 平面基板に形成された感光樹脂層に、マスクの所定の微細構造形状のパターンを露光により転写し、現像によって該感光樹脂層を凹凸部とし、その凹凸部を加熱軟化させてその凹凸形状を滑らかな曲面とした後室温まで冷却し、その表面の一部分もしくは全面にレーザー光や電子線、イオンビーム等のエネルギービームを照射して母型を作製するようにしたものである。
Claim (excerpt)：
平面基板上に感光樹脂層を形成し、所定の微細構造形状のパターンを有するマスクを用いて、該感光樹脂層に前記微細構造形状のパターンを露光により転写する工程と、該感光樹脂層の露光部または未露光部のうち何れか一方を除去する工程と、残った感光樹脂層を加熱により丸みを持った曲面とした後室温まで冷却する工程と、該感光樹脂層の表面の一部もしくは全面にレーザー光や電子線、イオンビーム等のエネルギービームを照射する工程とを有することを特徴とする拡散板成形用母型の作製方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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