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J-GLOBAL ID：200903025551952515
ノズルプレートの製造方法およびシリコン基板の加工方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998071028
Publication number (International publication number)：1999268281
Application date： Mar. 19, 1998
Publication date： Oct. 05, 1999
Summary：
【要約】【課題】 高精度でばらつきの少ないノズルを有する高品質なノズルプレートを生産性よく低価格で提供する。【解決手段】 (a)結晶方位(100)のn型シリコン単結晶基板の一方の面に、ノズルパターンに対応した耐エッチングマスクを形成する工程と、(b)n型シリコン単結晶基板の他方の面に光透過性導電性膜を形成する工程と、(c)一方の面をアルカリ性水溶液に接触させて異方性エッチングを行い、一方の面にノズルパターンに対応した未貫通孔を形成する工程と、(d)一方の面をふっ酸を含む溶液に接触させた状態で、他方の面の側から光を照射しながら、前記光透過性導電性膜を陽極として電解エッチングを行い、前記未貫通孔を更に深い未貫通孔又は貫通孔にする工程と、を実施するようにした。
Claim (excerpt)：
(a)ノズルプレート用基板として用いる結晶方位(100)のn型シリコン単結晶基板の一方の面に、ノズルパターンに対応した耐エッチングマスクを形成する工程と、(b)前記n型シリコン単結晶基板の他方の面に、このn型シリコン単結晶基板とオーミック接続が可能な光透過性導電性膜を形成する工程と、(c)前記n型シリコン単結晶基板の一方の面をアルカリ性水溶液に接触させて前記n型シリコン単結晶基板の異方性エッチングを行い、前記n型シリコン単結晶基板の一方の面にノズルパターンに対応した未貫通孔を形成する工程と、(d)前記n型シリコン単結晶基板の一方の面をふっ酸を含む溶液に接触させた状態で、前記n型シリコン単結晶基板の他方の面の側から光を照射しながら、前記光透過性導電性膜を陽極として電解エッチングを行い、前記n型シリコン基板の未貫通孔を更に深い未貫通孔又は貫通孔にする工程と、を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
IPC (2)：
B41J 2/135
, H01L 21/3063
B41J 3/04 103 N
, H01L 21/306 L
