Pat

J-GLOBAL ID：200903025572895074

面形状測定装置

Inventor： 金子 正
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991181719
Publication number (International publication number)：1993001970
Application date： Jun. 26, 1991
Publication date： Jan. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 計算機ホログラムを用いて非球面の多い非球面形状を高精度に測定することができる面形状測定装置を得ること。【構成】 物体の面形状を計算機ホログラムを用いて干渉計で測定する面形状測定装置において、該計算機ホログラムは前記干渉計より球面波が斜めに入射するように配置されるとともに、該計算機ホログラムから発生する不要な回折光を除去するピンホールを干渉計内に配置すること。

Claim (excerpt)：

物体の面形状を計算機ホログラムを用いて干渉計で測定する面形状測定装置において、該計算機ホログラムは前記干渉計より球面波が斜めに入射するように配置されるとともに、該計算機ホログラムから発生する不要な回折光を除去するピンホールを干渉計内に配置することを特徴とする面形状測定装置。