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J-GLOBAL ID：200903025597562681

密着型イメージセンサ

Inventor： 鬼沢 賢一 ,  北 芳明 ,  金子 寿輝 ,  阿部 良夫 ,  橋本 健一 ,  小園 裕三 ,  安藤 寿 ,  橋本 悟
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 富田 和子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991151999
Publication number (International publication number)：1993082768
Application date： Jun. 24, 1991
Publication date： Apr. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は、製造工程の簡略化が可能であり、また、低温の熱処理が可能な層間絶縁膜を有する密着型イメージセンサを提供することを目的とする。【構成】絶縁膜のうち少なくとも1層は感光性有機樹脂を加熱および/または加熱して架橋した膜であることを特徴とする密着型イメージセンサ。

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板上に設けられた、光検出を行なう1以上の受光素子と、その出力信号を処理する電子素子要素と、これらの光入射面側を覆う1層または2層以上の絶縁膜と、前記絶縁膜上に電極および配線とを有する密着型イメージセンサにおいて、前記絶縁膜のうち少なくとも1層は、感光性有機物樹脂を感光および/または加熱して架橋した膜であることを特徴とする密着型イメージセンサ。

IPC (2)：

H01L 27/146 ,  H01L 29/784

FI (2)：

H01L 27/14 C ,  H01L 29/78 311 C