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J-GLOBAL ID：200903025609483669

セラミックス製静電チャック

Inventor： 久保田 芳宏 ,  川合 信 ,  小嶋 伸次 ,  新井 健一
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992193020
Publication number (International publication number)：1994008089
Application date： Jun. 26, 1992
Publication date： Jan. 18, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は高い静電吸着性を有し、脱着も容易であり、半導体プロセスに使用したときにデバイスダメージを与えることがないセラミックス製静電チャックの提供を目的とするものである。【構成】 本発明のセラミックス製静電チャックは、絶縁体で被覆された電極に電圧を印加して、この絶縁体上に試料を静電吸着するようにした静電チャックにおいて、この絶縁体が体積固有抵抗1×1014Ωcm以上の高抵抗セラミックス粉末と、その5重量%以下の窒化チタン粉末との混合物の焼結体、またはプラズマによる溶射で作成した混合物で、その体積固有抵抗が1×108 〜1×1013Ωcmのものであることを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

絶縁体で被覆された電極に電圧を印加してこの絶縁体上に試料を静電吸着するようにした静電チャックにおいて、この絶縁体が体積固有抵抗1×1014Ωcm以上の高抵抗セラミックス粉末と、その5重量%以下の窒化チタン粉末との混合物の焼結体、またはプラズマによる溶射で作成した混合物で、その体積固有抵抗が1×108 〜1×1013Ωcmのものであることを特徴とするセラミックス製静電チャック。

IPC (3)：

B23Q 3/15 ,  H01L 21/68 ,  H02N 13/00