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J-GLOBAL ID：200903025622831935
薄膜電場発光素子の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山口 巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994226886
Publication number (International publication number)：1996096957
Application date： Sep. 21, 1994
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】発光層を硫黄雰囲気中で熱処理する際に第一電極端子部が硫化することがなく多色化された薄膜電場発光素子の製造方法を得る。【構成】 第一絶縁膜3と第二絶縁膜5のうちの少なくとも一つを用いて第一電極2の全部を被覆する工程と、第一電極2の全部を被覆し且つ発光層4を成膜したあとに発光層を硫黄の雰囲気中で熱処理する工程と、発光層を熱処理したあとに前記端子部上の絶縁膜を除去して第一電極の端子部21を露出する工程を備える。
Claim (excerpt)：
露出した端子部を有するストライプの複数個からなる第一電極と、第一絶縁膜と、発光層と、第二絶縁膜と、第二電極を順次絶縁基板上に積層してなる薄膜電場発光素子の製造方法であって、第一絶縁膜と第二絶縁膜のうちの少なくとも一つを用いて第一電極の全部を被覆する工程と、第一電極の全部を被覆し且つ発光層を成膜したあとに発光層を硫黄の雰囲気中で熱処理する工程と、発光層を熱処理したあとに前記端子部上の絶縁膜を除去して第一電極の端子部を露出する工程を備えることを特徴とする薄膜電場発光素子の製造方法。
IPC (2)：
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