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J-GLOBAL ID：200903025630459468
塗布方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
米田 潤三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996186577
Publication number (International publication number)：1998005677
Application date： Jun. 27, 1996
Publication date： Jan. 13, 1998
Summary：
【要約】【課題】 大型ガラス基板等の枚葉タイプの被塗布基板に対して均一な塗布膜の形成が可能であり、かつ、塗布液の使用効率の高い塗布方法を提供する。【解決手段】 上方に向って開口するとともに水平方向に延びる帯状のスリットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給し、この塗布液をスリットから吐出させてビードを形成し、平面形状が矩形の被塗布基板をその1つの対角線方向にほぼ沿って塗布ヘッドの上方を斜め上方向に相対的に移動させ、塗布ヘッドと被塗布基板との間に形成されたビードから被塗布基板の塗布面に塗布液を付着させる。
Claim (excerpt)：
上方に向って開口するとともに水平方向に延びる帯状のスリットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給して前記スリットから吐出させ、平面形状が矩形の被塗布基板をその1つの対角線方向にほぼ沿って前記塗布ヘッドの上方を斜め上方向に相対的に移動させて、前記塗布ヘッドと前記被塗布基板との間に形成されたビードから被塗布基板の塗布面に塗布液を付着させることによって前記被塗布基板への塗布液の塗布を行うことを特徴とした塗布方法。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (1)
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基板への液塗布方法および装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平6-291723
Applicant：大日本印刷株式会社
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