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J-GLOBAL ID：200903025632498185

マイクロ波検査方法およびその装置

Inventor： 花房 秀行 ,  琢磨 幹雄 ,  守友 三成
Applicant, Patent owner： 株式会社ヒューテック
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994078885
Publication number (International publication number)：1995287071
Application date： Apr. 18, 1994
Publication date： Oct. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】本発明の目的は、容器内に収納される被検出対象物を、容器を破壊したり、または、容器内に収納された内容物を変質させたり、或いは被検出対象物に磁気マーキングを必要とすることなく、そして、被検出対象物の重量の大小に拘らず検出できるマイクロ波検査方法を得ることにある。【構成】送波用のアンテナ22b から放射されるマイクロ波の波長の平行波電磁波をもとに円偏波発生器16で形成した円偏波を、その伝搬軸上に配置される被検査物5 に照射する。被検査物5 に向かう前記円偏波の進行波と前記被検査物5 側で反射された前記円偏波の反射波との相互干渉により、回転する円偏波定在波を前記伝搬軸上に形成する。この定在波の電力を前記伝搬軸上であってアンテナ22bを境に円偏波発生器16とは反対側で検出して、被検査物5 内の能書き書4 を検知をすることを特徴としている。

Claim (excerpt)：

送波用のアンテナから放射されるマイクロ波の波長の平行波電磁波をもとに円偏波発生器で形成した円偏波を、その伝搬軸上に配置される被検査物に照射して、この被検査物に向かう前記円偏波の進行波と前記被検査物側で反射された前記円偏波の反射波との相互干渉による円偏波定在波を前記伝搬軸上に形成し、この定在波の電力を前記伝搬軸上であって前記アンテナを境に前記円偏波発生器とは反対側で測定して、前記被検査物内の被検出対象物を検知することを特徴とするマイクロ波検査方法。

IPC (6)：

G01V 3/12 ,  G01B 15/00 ,  G01N 22/00 ,  G01R 29/08 ,  G01R 29/10 ,  H01L 21/66