Pat

J-GLOBAL ID：200903025636581230

研磨液及び基体の研磨方法

Inventor： 竹中 敦義 ,  高草 俊治 ,  八馬 進 ,  杉崎 満壽雄
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993217210
Publication number (International publication number)：1995070553
Application date： Sep. 01, 1993
Publication date： Mar. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】アルミニウムを含有するガラス基体等の研磨において、初期の研磨速度を長期にわたり維持できる、新規な研磨液及び研磨方法を提供する。【構成】アルミニウムと錯体を形成する有機酸及び/又はキレート剤を、通常用いられる研磨液中に含有させ、アルミニウム成分をマスキングして、砥粒の分散性を向上させる。

Claim (excerpt)：

アルミニウムを含有する基体の研磨に用いられる研磨液において、アルミニウムと錯体を形成する有機酸及び/又はキレート剤が含有されていることを特徴とする研磨液。

IPC (2)：

C09K 3/14 550 ,  B24B 37/00