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J-GLOBAL ID：200903025641783658

X線源用フィルタ装置

Inventor： 近藤 洋行
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992155329
Publication number (International publication number)：1993346495
Application date： Jun. 15, 1992
Publication date： Dec. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】 真空容器内を大気に開放せずに、しかも容易にフィルタを交換可能なX線源用フィルタ装置を提供する。【構成】 レーザプラズマX線源1とともに真空容器内に収容され、レーザプラズマX線源1から放出されるX線4を透過するとともに、X線以外の飛散粒子の透過を阻止するフィルタ11aを有するX線源用フィルタ装置において、フィルタ11a,11b,11cは、一方がX線4の光路中に挿入されると他方がX線光路から退避するようにそれぞれ配置された少なくとも2以上の領域を有する。また、上記光路に挿入されている領域を光路から退避駆動するとともに、光路から退避されている領域11bを光路に挿入駆動する駆動手段12を備える。

Claim (excerpt)：

レーザプラズマX線源とともに真空容器内に収容され、レーザプラズマX線源から放出されるX線を透過するとともに、X線以外の飛散粒子の透過を阻止するフィルタを有するX線源用フィルタ装置において、前記フィルタは、一方が前記X線の光路中に挿入されると他方がX線光路から退避するようにそれぞれ配置された少なくとも2以上の領域を有し、前記X線光路に挿入されている領域をX線光路から退避駆動するとともに、前記X線光路から退避されている領域を前記X線光路に挿入駆動する駆動手段を備えることを特徴とするX線源用フィルタ装置。