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J-GLOBAL ID：200903025665546908

X線源

Inventor： 原 民夫 ,  安藤 剛三 ,  青柳 克信 ,  広瀬 秀男
Applicant, Patent owner： 理化学研究所 ,  株式会社島津製作所
Agent (1)： 塩野入 章夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994097143
Publication number (International publication number)：1995306300
Application date： May. 11, 1994
Publication date： Nov. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 水の窓領域に含まれる波長領域のみのX線を得ることができるX線源を提供する。【構成】 X線源において、軟X線領域の短波長側のX線発生効率の低いターゲット1と、チタン材を用いて構成されるフィルタ2とを備え、そのチタン材からなるフィルタ2にターゲット1から放出されるレーザプラズマX線を通過させ、レーザ光プラズマX線から水の窓領域の波長成分を持つ波長成分を選択して放射する狭帯域化されたX線源を構成する。

Claim (excerpt)：

軟X線領域の短波長側のX線発生効率の低いターゲットと、チタン材を用いて構成されるフィルタとを具備し、前記フィルタに前記ターゲットから放出されるレーザプラズマX線を通過させて水の窓領域の波長成分を持つ狭帯域化されたX線を放射することを特徴とするX線源。

IPC (2)：

G21K 5/02 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 軟X線検出器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-058040   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• X線発生源
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-103725   Applicant：工業技術院長, 株式会社ニコン
• 特開昭61-163547