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J-GLOBAL ID：200903025681065065

ミクロン及びサブミクロンの小滴の濃霧を生成する方法及びその装置、並びに特にリソグラフィのための極紫外線の生成への応用

Inventor： マルタン・シュミット ,  オリヴィエ・スブルモンティエ
Applicant, Patent owner： コミツサリア タ レネルジー アトミーク
Agent (1)： 志賀 正武 (外7名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001531345
Publication number (International publication number)：2003528710
Application date： Oct. 17, 2000
Publication date： Sep. 30, 2003
Summary：

【要約】ミクロン及びサブミクロンの小滴の濃霧を生成する方法及びその装置、並びに特にリソグラフィのための極紫外線の生成への応用に関する。本発明では、圧縮液体(4)を真空へ開口する非常に小さい径のノズル(10)に注入する。光(42)は、レーザービーム(36)を濃霧(23)に合焦することによって生成する。

Claim (excerpt)：

液体(4)の小滴から成る霧(23)の生成方法であって、 液体(4)が5x105Paから107Paのオーダーの圧力で圧縮され、この圧縮された液体は、20μmから1mmの間の直径を有しかつ圧力が10-2Paより小さいか若しくは等しい領域に開口するノズルに注入され、その領域に、ノズル(10)から出口で10μmから30μmのオーダーのサイズの液体小滴の濃霧(23)を生成し、この濃霧がノズルのほぼセンターライン(X)上に位置することを特徴とする方法。

IPC (6)：

B05B 1/00 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 5/02 ,  G21K 5/08 ,  H01L 21/027 ,  G21K 7/00

FI (6)：

B05B 1/00 Z ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 5/02 X ,  G21K 5/08 X ,  G21K 7/00 ,  H01L 21/30 531 S

F-Term (11)：

2H097CA15 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  4F033AA14 ,  4F033BA04 ,  4F033CA00 ,  4F033DA01 ,  4F033EA01 ,  4F033HA01 ,  5F046GA03 ,  5F046GC03