Pat
J-GLOBAL ID：200903025687359877
ウェーハの吸着方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
秋元 輝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991359144
Publication number (International publication number)：1993183042
Application date： Dec. 28, 1991
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 反りのあるウェーハであっても、手作業に頼ることなくバキュームテーブル上に、ウェーハ全面を均一な吸着力で容易に吸着できるようにする。【構成】 ダイシング装置等のウェーハ処理装置に装着されているバキュームテーブル1上に、特に反りのあるウェーハWを吸引保持するウェーハの吸着方法において、ウェーハを吸引保持しようとする吸引力の外に、気体又は液体の流体の力をウェーハに付加しウェーハの吸着を容易にする。
Claim (excerpt)：
ダイシング装置等のウェーハ処理装置に装着されているバキュームテーブル上に、特に反りのあるウェーハを吸引保持するウェーハの吸着方法において、ウェーハを吸引保持しようとする吸引力の外に、気体又は液体の流体の力をウェーハに付加しウェーハの吸着を容易にすることを特徴とするウェーハの吸着方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Return to Previous Page
