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J-GLOBAL ID：200903025716278989

マイクロアクチュエータおよびその製造方法

Inventor： 柳瀬 悦也 ,  嵩 良徳 ,  東海 正國
Applicant, Patent owner： 川崎重工業株式会社
Agent (1)： 西教 圭一郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994222179
Publication number (International publication number)：1996088419
Application date： Sep. 16, 1994
Publication date： Apr. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】 低電圧で駆動可能で、圧電層の結晶性を向上することができるマイクロアクチュエータおよびその製造方法を提供する。【構成】 マイクロアクチュエータ41の積層体32は、蒸着による成膜工程によって形成された圧電層24の両側に電極23を有する圧電部材が、陽極接合法による接合によって所定の積層数だけ積層されて構成される。電極層33a,33bと外部電極43との接続は、積層体32の側面に絶縁層36,37を形成した後、その絶縁層36,37に溝36a,37aを形成し、その溝36a,37aを介して行われる。圧電層24の厚さは、0.1μm〜10μmの値に設定される。また圧電層24は結晶によって構成され、その結晶のC軸は圧電層24の厚み方向に配向されている。

Claim (excerpt)：

圧電性および電歪性を有する圧電層と電極層とが交互に積層される積層体の側面に、互いに対向する一対の絶縁層が形成され、奇数番目の各電極層の一端部および偶数番目の各電極層の他端部に達する溝が、絶縁層の表面に複数形成され、絶縁層の表面に、前記溝を介して電極層に電気的に接続される外部電極が形成されることを特徴とするマイクロアクチュエータ。

IPC (2)：

H01L 41/083 ,  H01L 41/22

FI (2)：

H01L 41/08 Q ,  H01L 41/22 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭63-239588
  
• 圧電/電歪アクチュエータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-059670   Applicant：日本碍子株式会社
• 特開昭53-118798
  
• 特開平2-082667