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J-GLOBAL ID：200903025731460882
ロードロック装置のガス置換方法及びその装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
三好 祥二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993223822
Publication number (International publication number)：1995058093
Application date： Aug. 17, 1993
Publication date： Mar. 03, 1995
Summary：
【要約】【目的】ロードロック装置のガス置換に於いて、ガスの置換効率を向上させ、必要とされる置換ガス量の低減、ガス置換時間の短縮を図る。【構成】気密室内の置換対象物とは比重の異なる不活性置換ガスにより置換を行い、置換対象物と不活性置換ガスとが混合しにくくして置換効率を向上させる。
Claim (excerpt)：
気密室内の置換対象物とは比重の異なる不活性置換ガスにより置換を行うことを特徴とするロードロック装置のガス置換方法。
IPC (3)：
H01L 21/31
, C23C 14/56
, H01L 21/205
