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J-GLOBAL ID：200903025734453976

排ガス処理機能を備えた機能水製造装置

Inventor：
自在丸 隆行

About 自在丸 隆行

, 
澤本 勲

About 澤本 勲


Applicant, Patent owner：
野村マイクロ・サイエンス株式会社

About 野村マイクロ・サイエンス株式会社

, 
株式会社コアテクノロジー

About 株式会社コアテクノロジー


Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003371065
Publication number (International publication number)：2005131554
Application date： Oct. 30, 2003
Publication date： May. 26, 2005
Summary：
【課題】クリーンルーム内への酸素系ガスや水素ガスの漏出をいち早く検出して、これらのガスの生成を停止させるようにした機能水製造装置を提供すること。【解決手段】純水に未溶解の酸素系ガス並びに電気分解装置で生成した水素ガスを導入して化学反応により水を生成する余剰ガス処理手段と、余剰ガス処理手段の温度を測定する温度センサーと、温度センサーが測定した温度が所定の温度より低い場合に直流電源装置から前記電気分解装置への給電を遮断する電源遮断装置を有している。これにって、水素ガスのリークが生じた場合には、電気分解装置への給電が遮断されて、水素ガスの発生が停止されるので、水素ガスのリークによりクリーンルーム内の気体の組成が変化したり、爆発の危険が防止される。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
純水を電気分解してオゾンを含む酸素系ガスと水素ガスを生成する電気分解装置と、前記電気分解装置に電力を供給する直流電源装置と、前記電気分解装置の酸素系ガス排出口に配管を介して接続され連続的又は断続的に供給される純水中に酸素系ガスを溶解させるガス溶解手段と、前記電気分解装置及び前記酸素系ガス溶解手段に純水を供給する純水供給手段とを備えた機能水製造装置において、 前記ガス溶解手段において純水に未溶解の酸素系ガス並びに前記電気分解装置で生成した水素ガスを導入して化学反応により水を生成する余剰ガス処理手段と、前記余剰ガス処理手段の温度を測定する温度センサーと、前記温度センサーが測定した温度が所定の温度より低い場合に前記直流電源装置から前記電気分解装置への給電を遮断する電源遮断装置を有することを特徴とする機能水製造装置。
IPC (8)：
C02F1/78 ,  B08B3/08 ,  C01B13/10 ,  C02F1/68 ,  C25B1/13 ,  C25B15/08 ,  H01L21/304 ,  H01M8/06
FI (14)：
C02F1/78 ,  B08B3/08 Z ,  C01B13/10 D ,  C02F1/68 510A ,  C02F1/68 520B ,  C02F1/68 530A ,  C02F1/68 530K ,  C02F1/68 530L ,  C02F1/68 540H ,  C25B15/08 ,  H01L21/304 647Z ,  H01L21/304 648K ,  H01M8/06 Z ,  C25B1/00 F
F-Term (20)：
3B201AA01 ,  3B201BB03 ,  3B201BB95 ,  4D050AA01 ,  4D050AB32 ,  4D050BD03 ,  4D050BD04 ,  4D050BD08 ,  4G042CA04 ,  4G042CE01 ,  4K021AA01 ,  4K021AA09 ,  4K021AB15 ,  4K021BC01 ,  4K021CA08 ,  4K021CA09 ,  4K021CA13 ,  4K021DC07 ,  5H027AA02 ,  5H027DD09
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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