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J-GLOBAL ID：200903025746759868
X線光源装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
篠原 泰司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991257640
Publication number (International publication number)：1993101797
Application date： Oct. 04, 1991
Publication date： Apr. 23, 1993
Summary：
【要約】【目的】 X線を分光して利用するレーザープラズマ光源装置において分光されたX線の光量の変動が少なく安定性に優れたX線分光システムを実現し得るX線光源装置を提供することである。【構成】 真空容器2内に配置したターゲット物質6にレーザー光を照射し、該ターゲット物質6をプラズマ状態化してX線を発生させるようにしたX線光源装置において、上記ターゲット物質6は、原子番号が19よりも大きい元素から成ることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
真空容器内に配置したターゲット物質にレーザー光を照射し、該ターゲット物質をプラズマ状態化してX線を発生させるようにしたX線光源装置において、上記ターゲット物質は、原子番号が19よりも大きい元素から成ることを特徴とするX線光源装置。
Patent cited by the Patent：
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