Pat

J-GLOBAL ID：200903025783175973

ポジ型感光性重合体組成物

Inventor： 高橋 敏行 ,  渡邉 英司 ,  江頭 友弘 ,  木村 佑希
Applicant, Patent owner： チッソ株式会社
Agent (6)： 川口 嘉之 ,  松倉 秀実 ,  和久田 純一 ,  遠山 勉 ,  佐貫 伸一 ,  丹羽 武司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008005515
Publication number (International publication number)：2009168992
Application date： Jan. 15, 2008
Publication date： Jul. 30, 2009
Summary：

【課題】高い感放射線感度を有し、高透明性、低誘電率性、高耐溶剤性、高耐水性、高耐酸性、高耐アルカリ性、高耐熱性、下地との密着性等に優れ、アルカリ水溶液で現像することにより得られるパターニングされた重合体膜の形成に有用なポジ型感光性重合体組成物を提供する。【解決手段】(メタ)アクリロイル基と末端がアルコキシであるポリアルキレングリコール基とを有するラジカル重合性モノマー(a1)を含むモノマーのラジカル重合による共重合体と1,2-キノンジアジド化合物とを含有し、モノマー(a1)を含まないモノマーのラジカル重合による共重合体をさらに含有してもよいポジ型感光性重合体組成物を提供する。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

下記式(I)で表されるラジカル重合性モノマー(a1)及びその他のラジカル重合性モノマー(a2)を重合して得られる共重合体(A)と、1,2-キノンジアジド化合物(B)とを含有する感光性重合体組成物。

IPC (6)：

G03F 7/023 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  G03F 7/075 ,  H01L 21/027 ,  G02F 1/133

FI (6)：

G03F7/023 ,  G03F7/004 502 ,  G03F7/40 501 ,  G03F7/075 521 ,  H01L21/30 502R ,  G02F1/1333 505

F-Term (26)：

2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB41 ,  2H025CC01 ,  2H090HA05 ,  2H090HB07X ,  2H090HC11 ,  2H090HC12 ,  2H090HC15 ,  2H090LA04 ,  2H096AA27 ,  2H096BA10 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 特開昭51-34711号公報
  
• 特開昭56-122031号公報
  
• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-350470   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• 特公昭52-41050号公報
  

Cited by examiner (4)

• ポジ型感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-130511   Applicant：富士写真フイルム株式会社
• 特開平4-335354
  
• 感光性平版印刷版の処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-130514   Applicant：富士写真フイルム株式会社
• 感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-312929   Applicant：富士写真フイルム株式会社