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J-GLOBAL ID：200903025803099381
光学システム
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岡部 正夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993192651
Publication number (International publication number)：1994235864
Application date： Aug. 04, 1993
Publication date： Aug. 23, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 光ファイバのような円筒形の物体から作られるプローブの1つの不具合、例えば並列読み出し及び書き込み動作のために、接近した間隔の配列状態で製造するのが困難であることを解決することを目的とする。【構成】 近視野走査光学顕微鏡検査(NSOM)用光学システムは、平面状光導波路からなるプローブ(400)を含む。この導波路は、少なくとも1次元でテーパーにされ(440)、前記導波路の少なくとも頂上部分は不伝導性材料(420)で被覆される。前記テーパーは、テーパー領域において伝播する放射線が誘電モードと金属モードの間で実質的に相互変換される。
Claim (excerpt)：
長軸及び末端部を有し、少なくとも一部が少なくとも所定の波長で光伝送可能なプローブと、前記末端部に限定され、前記所定の波長より小さい少なくとも1次元を有する光窓と、光源より放射される少なくともいくらかの電磁放射線が、少なくとも所定の波長で、前記窓を介して前記プローブに入出するように、前記プローブに光源を光結合する手段と、前記プローブを対物レンズに対して変位させる手段とからなり、a)前記プローブは、所定の波長の放射線に関する、導波路の少なくとも1つの導かれる誘電モードと関連づけられるコア及びクラッドを有する光導波路の一部を含み、b)前記導波路は、断熱的にテーパーにされるテーパー領域を有し、該テーパー領域の少なくとも一部は少なくとも所定の波長の放射線を導くことができ、前記テーパー領域はあるテーパー長とあるテーパー角度を有し、c)前記テーパー領域は、長軸に対して実質的に垂直な平面に向きを合わせた実質的に平らな端面で終端し、前記窓は前記端面中またはその近くに限定され、d)前記テーパー領域における導波路の少なくとも一部は、所定の波長の放射線の金属モードを導くことができる金属導波路部分を限定する所定波長の電磁放射線に関する比較的短い貫通深度を有する不伝導性材料で被覆され、e)前記テーパー角度及びテーパー長は、前記テーパー領域において伝播する放射線が、誘電及び金属モード間で実質的に相互変換されるように適合される光学システムにおいて、f)前記導波路は平面状導波路であることを特徴とする光学システム。
Patent cited by the Patent：
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