遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：萩野平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999095373
Publication number (International publication number)：2000292925
Application date： Apr. 01, 1999
Publication date： Oct. 20, 2000
Summary：

【要約】【課題】遠紫外光を使用するミクロフォトファブリケ-ション本来の性能向上技術の課題を解決することで、詳しくは現像の際の現像欠陥発生及びスカムの発生の問題を解消し、更に線幅再現性に優れたポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、環状構造を有し、かつ酸の作用により分解する基を有する重合体、及び酸の作用により分解し、スルホン酸を発生する化合物を含有する遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物が提供される。

Claim (excerpt)：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)下記一般式(Ia)及び一般式(Ib)で表される繰り返し単位のうち少なくともいずれかと下記一般式(II)で表される繰り返し単位とを有し、かつ酸の作用により分解する基を有する重合体、及び(C)酸の作用により分解し、スルホン酸を発生する化合物を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。【化1】式(Ia)中:R1、R2は、各々独立に、水素原子、シアノ基、水酸基、-COOH、-COOR5、-CO-NH-R6、-CO-NH-SO2-R6、置換されていてもよい、アルキル基、アルコキシ基あるいは環状炭化水素基、又は下記-Y基を表す。Xは、酸素原子、硫黄原子、-NH-、-NHSO2-又は-NHSO2NH-を表す。ここで、R5は、置換基を有していてもよい、アルキル基、環状炭化水素基又は下記-Y基を表す。R6は、置換基を有していてもよい、アルキル基又は環状炭化水素基を表す。Aは単結合又は2価の連結基を表す。-Y基;【化2】(-Y基中、R21〜R30は、各々独立に、水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。a,bは1又は2を表す。)式(Ib)中:Z2は、-O-又は-N(R3)-を表す。ここでR3は、水素原子、水酸基又は-OSO2-R4を表す。R4は、アルキル基、ハロアルキル基、シクロアルキル基又は樟脳残基を表す。式(II)中:R11,R12は、各々独立に、水素原子、シアノ基、ハロゲン原子、又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。Z1は、結合した2つの炭素原子(C-C)を含み、置換基を有していてもよい脂環式構造を形成するための原子団を表す。

IPC (11)：

G03F 7/039 601 , C08F220/40 , C08F222/00 , C08F222/06 , C08F232/08 , C08K 5/00 , C08K 5/42 , C08L 35/00 , C08L 45/00 , G03F 7/004 501 , H01L 21/027

FI (11)：

G03F 7/039 601 , C08F220/40 , C08F222/00 , C08F222/06 , C08F232/08 , C08K 5/00 , C08K 5/42 , C08L 35/00 , C08L 45/00 , G03F 7/004 501 , H01L 21/30 502 R

F-Term (72)：

2H025AA00 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CC20 , 2H025FA01 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4J002BH021 , 4J002BK001 , 4J002EQ016 , 4J002EU186 , 4J002EU216 , 4J002EV216 , 4J002EV247 , 4J002EV296 , 4J002EW176 , 4J002EY006 , 4J002EZ006 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002GP03 , 4J100AJ10P , 4J100AK32P , 4J100AM43P , 4J100AM45P , 4J100AM47P , 4J100AR11Q , 4J100BA02P , 4J100BA02Q , 4J100BA03P , 4J100BA03Q , 4J100BA04P , 4J100BA04Q , 4J100BA10Q , 4J100BA11P , 4J100BA11Q , 4J100BA15Q , 4J100BA16P , 4J100BA16Q , 4J100BA20P , 4J100BA20Q , 4J100BA34P , 4J100BA34Q , 4J100BA35Q , 4J100BA40P , 4J100BA40Q , 4J100BA51P , 4J100BA56Q , 4J100BA58P , 4J100BA58Q , 4J100BA59P , 4J100BB01Q , 4J100BB18P , 4J100BC04P , 4J100BC08P , 4J100BC08Q , 4J100BC09P , 4J100BC09Q , 4J100BC12P , 4J100BC12Q , 4J100BC53P , 4J100BC53Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100JA38

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