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J-GLOBAL ID:200903025841225404

光学的測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鹿島 義雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004138093
Publication number (International publication number):2005321244
Application date: May. 07, 2004
Publication date: Nov. 17, 2005
Summary:
【課題】 高感度で屈折率などの光学特性を測定することができる光学的測定装置を提供する。【解決手段】 光導波路22の第1端面25、第2端面26以外の少なくとも一部の側面22sを被測定物Sが存在する空間と接するように配置した被測定物感知領域24が設けられてなるセンサ部20と、光導波路22の透過スペクトルまたは反射スペクトルを取得するための入射光を第1端面25に放射する光源31と、第2端面26から放射される透過光を光導波路22からの出射光として検出する光検出器41とを備え、光導波路22には、一部透過反射膜25a、26aを第1端面および第2端面のそれぞれに形成した光共振器を設け、光導波路22内に入射した入射光が光共振器で多重反射して出射したときの第2端面26からの出射光により得られる透過スペクトルに基づいて被測定物に関する情報を計測する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
互いに離隔する第1端面、第2端面を有する光導波路が形成されるとともに、この光導波路の第1端面、第2端面以外の少なくとも一部の側面を被測定物が存在する空間と接するように配置した被測定物感知領域が設けられてなるセンサ部と、 光導波路の透過スペクトルまたは反射スペクトルを取得するための入射光を第1端面に放射する光源と、 第1端面から放射される反射光、または、第2端面から放射される透過光のいずれかを光導波路からの出射光として検出する光検出器とを備え、 光導波路には、入射光波長に対しての一部透過反射膜を光導波路の第1端面および第2端面のそれぞれに形成した光共振器が設けられ、 光導波路内に入射した入射光が光共振器で多重反射して出射したときの第2端面からの出射光により得られる透過スペクトル、または、第1端面からの出射光により得られる反射スペクトルのいずれかに基づいて被測定物に関する情報を計測することを特徴とする光学的測定装置。
IPC (2):
G01N21/27 ,  G01N21/39
FI (2):
G01N21/27 C ,  G01N21/39
F-Term (34):
2G045DA36 ,  2G045FA11 ,  2G045GC09 ,  2G045GC11 ,  2G059AA01 ,  2G059AA02 ,  2G059BB01 ,  2G059BB04 ,  2G059BB12 ,  2G059CC05 ,  2G059CC16 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE04 ,  2G059EE10 ,  2G059EE12 ,  2G059FF08 ,  2G059FF09 ,  2G059GG01 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059KK02 ,  2G059KK03 ,  2G059LL03 ,  2G059MM04 ,  2G059NN02
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
  • センサデバイス
    Gazette classification:公表公報   Application number:特願2001-538783   Applicant:ファーフィールド・センサーズ・リミテッド
Cited by examiner (2)
  • センサデバイス
    Gazette classification:公表公報   Application number:特願2001-538783   Applicant:ファーフィールド・センサーズ・リミテッド
  • ガスセンサ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2002-080936   Applicant:矢崎総業株式会社
Article cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 5.光温度センサー
  • 5.光温度センサー

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