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J-GLOBAL ID：200903025844902776
検査装置及び検査対象物保持台
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994239419
Publication number (International publication number)：1996075421
Application date： Sep. 06, 1994
Publication date： Mar. 22, 1996
Summary：
【要約】【構成】 基台2の上に設けられた球面モータ11のロータ14の上にステージ3を固定する。球面モータ11は複数個のステータ13により球状のロータ14を支持したものであって、ステータ13を駆動することによりロータ14を2方向に回転させることができ、ロータを回転させることによってステージ3の傾きを2方向に変化させることができる。基台2の上面にはステージ3の下面までの距離を計測する距離センサ22が設けられており、傾斜角演算部23によってステージ3の傾きが求められる。従って、この検査テーブル1を用いることにより基台2の上に載置された基板51等の検査対象物を所望の傾きとなるように傾斜させることができ、傾斜させた状態で撮像装置31によりモニターできる。【効果】 ステージを傾けてもステージと撮像装置との距離がほとんど変化せず、撮像装置の焦点ずれが起こりにくい。従って、検査テーブルの制御も容易になる。
Claim (excerpt)：
検査対象物を載置されるステージと、任意の方向に回転駆動が可能な球面モータからなり、前記ステージの少なくとも傾きを変化させることができるステージ制御手段と、前記ステージの傾きを検出する傾斜検出手段と、前記ステージに載置された検査対象物を撮像する撮像手段とを備えた検査装置。
IPC (5)：
G01B 11/00
, G01B 11/26
, G05D 3/00
, H02N 2/00
, H05K 13/08
