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J-GLOBAL ID:200903025852133986

研磨用組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 佐藤 一雄 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997174590
Publication number (International publication number):1999021545
Application date: Jun. 30, 1997
Publication date: Jan. 26, 1999
Summary:
【要約】【課題】 安価であり、研磨速度が大きく、表面欠陥の少ない優れた研磨表面を形成させることのできるカーボンディスク用の研磨用組成物、ならびに生産性の高いメモリーハードディスク用カーボンディスクの製造法の提供。【解決手段】 酸化アルミニウム、二酸化ケイ素、酸化セリウム、窒化ケイ素、酸化チタン、酸化ジルコニウム、および二酸化マンガンからなる群より選ばれる少なくとも1種類の研磨材、金属塩、キレート剤、および水を含んでなることを特徴とする、カーボンディスクの研磨用組成物、ならびにそれを用いたメモリーハードディスクの製造法。
Claim (excerpt):
酸化アルミニウム、二酸化ケイ素、酸化セリウム、窒化ケイ素、酸化チタン、酸化ジルコニウム、および二酸化マンガンからなる群より選ばれる少なくとも1種類の研磨材、金属塩、キレート剤、および水を含んでなることを特徴とする、カーボンディスクの研磨用組成物。
IPC (4):
C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  G11B 5/84
FI (5):
C09K 3/14 550 C ,  C09K 3/14 550 D ,  C09K 3/14 550 Z ,  B24B 37/00 H ,  G11B 5/84 A

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