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J-GLOBAL ID：200903025875303242
測定される変位の量を較正する標準試料の製法及び標準試料並びに測定装置及び較正方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
福森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992030062
Publication number (International publication number)：1993196559
Application date： Jan. 21, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：
【要約】【目的】 原子間力顕微鏡装置が威力を発揮する数十オングストロームから数オングストロームの凹凸の領域を容易で正確に較正するための標準試料を提供することを目的とする。【構成】 本発明の標準試料の製法は、被測定物の表面と探針の先端とを微小間隔を置いて対向させ、前記被測定物及び探針を構成する各々の原子の間に働く原子間力を機械的変位に変換するように構成された原子間力顕微鏡装置によって測定された変位の量を較正するために供される標準試料の製法において、極低エッチング速度のエッチング剤を用いてパターン段差のエッチングの量を正確に制御しながらエッチングを行うことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
【請求項l】 被測定物の表面と探針の先端とを微小間隔を置いて対向させ、前記被測定物及び探針を構成する各々の原子の間に働く原子間力を機械的変位に変換するように構成された原子間力顕微鏡装置によって測定された変位の量を較正するために供される標準試料の製法において、極低エッチング速度のエッチング剤を用いてパターン段差のエッチングの量を正確に制御しながらエッチングを行うことを特徴とする原子間力顕微鏡装置によって測定される変位の量を較正する標準試料の製法。
IPC (3)：
G01N 1/00 102
, G01B 21/30
, G01N 1/28
