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J-GLOBAL ID：200903025881589395

小型赤外線センサ及びその製造方法

Inventor： 喜多山 和也 ,  相澤 浩一
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 佐藤 成示 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995129900
Publication number (International publication number)：1996327448
Application date： May. 29, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 広角に赤外線を検知できる赤外線センサの小型化を図る。【構成】 赤外線検出素子3を形成した素子基板1に、凹部7aを形成した封止用シリコン基板7を接合して、赤外線検出素子3を凹部7a内に封止する小型赤外線センサにおいて、封止用シリコン基板7の一部分をレンズ状に形成した。【効果】 赤外線を集光する光学系と赤外線センサを一体化することができ、赤外線センサの小型化が図れる。また、赤外線センサと光学系とのアセンブリを考慮する必要がなくなる。さらに、新たに光学系を必要としないため、コストを抑えることができる。

Claim (excerpt)：

赤外線検出素子を形成した素子基板に、凹部を形成した封止用シリコン基板を接合して、前記赤外線検出素子を前記凹部内に封止する小型赤外線センサにおいて、前記封止用シリコン基板の一部分がレンズ状に形成されていることを特徴とする小型赤外線センサ。

IPC (3)：

G01J 1/04 ,  G01J 1/02 ,  G01J 5/08

FI (3)：

G01J 1/04 A ,  G01J 1/02 C ,  G01J 5/08