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J-GLOBAL ID：200903025898013772

有機EL素子の製造方法

Inventor： 稲葉 律夫 ,  丹羽 晴俊 ,  川村 倫子
Applicant, Patent owner： 稲葉 律夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002175387
Publication number (International publication number)：2004022326
Application date： Jun. 17, 2002
Publication date： Jan. 22, 2004
Summary：

本発明は有機EL素子の作製において蒸着時の材料供給方法と蒸着方法を改良することによって、有機EL素子作製装置の簡略化とそれに伴う有機EL素子の低コスト化を実現するものである。【課題】有機EL素子課題は価格が高いことが上げられる。有機ELの価格が高くなる要因の一つに、蒸着装置が上げられ今後のより一層の生産性の高い蒸着装置の実現が求められている。そのためには安定な材料供給と一定の特性が常に得られる蒸着方法、さらに基板の大型化への対応技術が求められている。【解決手段】本発明は有機EL素子作製の際、材料を自動供給してかつ必要量だけをその時その時にボートに供給するため、安定に材料を供給するための材料形状一定形状にして安定供給を実現した。さらに基板の大面積化のための、下向け蒸着方法を取り、ボート形状を工夫することと、材料供給方法とあわせて新規有機EL素子作製方法を見出した。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

有機EL素子の作製において、特に蒸着方法で薄膜を作製する際の有機材料或いはカソード材料の供給方法において、材料を球形(断面の楕円形を含め)、円筒形、あるいは四角形等の一定形状にして蒸着装置内で自動供給して用いることを特長とする有機EL作製方法及びその作製装置。

IPC (3)：

H05B33/10 ,  C23C14/24 ,  H05B33/14

FI (3)：

H05B33/10 ,  C23C14/24 D ,  H05B33/14 A

F-Term (10)：

3K007AB11 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029BA03 ,  4K029CA01 ,  4K029DB08 ,  4K029DB15 ,  4K029DB17