マイクロヒータ及びCOセンサ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：瀧野秀雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996077195
Publication number (International publication number)：1997264862
Application date： Mar. 29, 1996
Publication date： Oct. 07, 1997
Summary：

【要約】【課題】熱絶縁性が高く、消費電力が小さく、量産化が容易なマイクロヒータ及び検出速度が速く、検出精度が高く、消費電力が小さく、量産化が容易で低コストで製造できるCOセンサを提供する。【解決手段】ヒータ6、7は絶縁体ダイアフラム13a、13b上に形成されているので、熱容量が小さくなり、また、ヒータ6、7の周囲には貫通孔14a、14bが配設して熱絶縁性を向上し、熱容量が小さくして、消費電力を低減することができるとともに、測定サイクルを短縮化し、かつ、測定精度を向上させることができる。両ヒータ6、7は、熱絶縁がされた状態で同一基板1上に配置されているので、両ヒータ6、7の抵抗値の変化をブリッジ回路で検出すれば、温度補償がされた状態でCOガスの濃度を検出でき、COガス濃度を迅速、かつ、正確に検出できる。

Claim (excerpt)：

支持基板により支持され、かつ、絶縁体で形成された絶縁体ダイアフラムと、前記絶縁体ダイアフラム上に形成されたヒータと、前記絶縁体ダイアフラムの前記ヒータの周囲に配設した貫通孔と、を備えたことを特徴とするマイクロヒータ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

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Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-214508 Applicant：東芝システム開発株式会社, 株式会社東芝
特開昭63-172948
特開昭51-012193

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