パターン検査方法及びパターン検査装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山川政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996302807
Publication number (International publication number)：1998141930
Application date： Nov. 14, 1996
Publication date： May. 29, 1998
Summary：

【要約】【課題】パターンの突起、欠損、断線又は短絡を高速に検査する。【解決手段】被測定パターンのCADデータから第1のマスタパターンを作成する(ステップ102)。第1のマスタパターンをその中心線と直角の方向に縮小して欠損又は断線検出用の第2のマスタパターンを作成し、第1のマスタパターンをその中心線と直角の方向に拡大して突起又は短絡検出用の第3のマスタパターンを作成する(ステップ103)。被測定パターンと第2、第3のマスタパターンの論理積をとることにより、被測定パターンの欠陥を検出する(ステップ107)。欠陥を含む所定の領域について、被測定パターンと第1のマスタパターンの誤差を求め、被測定パターンを検査する(ステップ108)。

Claim (excerpt)：

被測定パターンの設計時のCADデータあるいは被測定パターンの良品から作成した第1のマスタパターンをその中心線と直角の方向に縮小して、欠損又は断線検出用の第2のマスタパターンを作成すると共に、前記第1のマスタパターンをその中心線と直角の方向に拡大して突起又は短絡検出用の第3のマスタパターンを作成し、被測定パターンと第2のマスタパターンの論理積をとると共に被測定パターンと第3のマスタパターンの論理積をとることにより、被測定パターンの欠陥を検出し、この欠陥を含む所定の領域について、被測定パターンと第1のマスタパターンの誤差を求め、被測定パターンを検査することを特徴とするパターン検査方法。

IPC (5)：

G01B 11/24 , G06T 7/00 , H01L 21/60 311 , H01L 21/66 , H05K 3/00

FI (5)：

G01B 11/24 K , H01L 21/60 311 W , H01L 21/66 J , H05K 3/00 V , G06F 15/62 405 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

特開昭62-262192
特開昭62-262192
特開昭62-262192

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