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J-GLOBAL ID：200903025911760000

ガスクロマトグラフ走査プローブ顕微鏡

Inventor： 高澤 信明
Applicant, Patent owner： トヨタ自動車株式会社
Agent (1)： 石田 敬 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002053966
Publication number (International publication number)：2003254886
Application date： Feb. 28, 2002
Publication date： Sep. 10, 2003
Summary：

【要約】【課題】 物質表面の微小領域分析において、従来の走査プローブ顕微鏡を利用した方法に比べて、更に高い空間分解能を確保し、かつ物質の化学構造の同定を可能にする手段を提供する。【解決手段】 カンチレバーの一端側に固定されたプローブの先端で観察試料の観察点を加熱して気化および分解する手段、およびプローブ先端の開口からプローブ内およびカンチレバー内を通ってカンチレバーの他端側の開口まで連通するガス導路を備えた走査プローブ顕微鏡と、ガス導管を介して上記カンチレバー他端側開口からのガスを受け入れるガスクロマトグラフ質量分析器とから成ることを特徴とするガスクロマトグラフ走査プローブ顕微鏡。

Claim (excerpt)：

カンチレバーの一端側に固定されたプローブの先端で観察試料の観察点を加熱して気化および分解する手段、およびプローブ先端の開口からプローブ内およびカンチレバー内を通ってカンチレバーの他端側の開口まで連通するガス導路を備えた走査プローブ顕微鏡と、ガス導管を介して上記カンチレバー他端側開口からのガスを受け入れるガスクロマトグラフ質量分析器とから成ることを特徴とするガスクロマトグラフ走査プローブ顕微鏡。

IPC (6)：

G01N 13/10 ,  G01N 30/04 ,  G01N 30/06 ,  G01N 30/12 ,  G01N 30/16 ,  G01N 1/22

FI (7)：

G01N 13/10 F ,  G01N 13/10 H ,  G01N 30/04 A ,  G01N 30/06 G ,  G01N 30/12 S ,  G01N 30/16 K ,  G01N 1/22 E

F-Term (11)：

2G052AD02 ,  2G052AD32 ,  2G052AD42 ,  2G052BA02 ,  2G052BA14 ,  2G052CA04 ,  2G052EB01 ,  2G052EB11 ,  2G052GA24 ,  2G052GA27 ,  2G052GA36