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J-GLOBAL ID：200903025925034230

イオン源電極

Inventor： 中本 一朗
Applicant, Patent owner： 石川島播磨重工業株式会社
Agent (1)： 絹谷 信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992326765
Publication number (International publication number)：1994176890
Application date： Dec. 07, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：

【要約】【目的】 イオンビーム出力を強くしても電極が熱変形で歪まないイオン源電極を提供する。【構成】 プラズマ室1の内壁4にその中心部まで延出された支持柱5を設け、この支持柱5にプラズマ室1からイオンを引き出すための電極8を電極8の中央で支持させて取り付けた。

Claim (excerpt)：

プラズマ室の内壁にその中心部まで延出された支持柱を設け、この支持柱にプラズマ室からイオンを引き出すための電極を電極の中央で支持させて取り付けたことを特徴とするイオン源電極。

IPC (2)：

H05H 1/54 ,  H05H 1/10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭62-093835
  
• 特開昭64-030142