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J-GLOBAL ID：200903025928634033
赤外線センサ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤島 洋一郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991249027
Publication number (International publication number)：1994160174
Application date： Sep. 27, 1991
Publication date： Jun. 07, 1994
Summary：
【要約】【目的】 感温部を載置した架橋部の形状を最適化し、これにより感温部の温度上昇を増大させ、高感度な測定を可能とする。【構成】 シリコン基板11の表面には、架橋部13が設けられている。この架橋部13は、平面形状が円形の赤外線受光部14と、この赤外線受光部14を支持する4本の支持部15により構成されている。赤外線受光部14および支持部15はともに厚さ3μmのシリコンオキシナイトライド膜により一体的に形成されている。赤外線受光部14の中央部には感温部16が形成されている。赤外線受光部14は支持部15よりも幅広で受光面積が広くなっているため、より多くの赤外線を受光することができる。したがって、感温部16の温度が効率的に高められ、センサ感度が向上する。
Claim (excerpt)：
センサ基板上に全長L、幅W(W<L)の架橋部が設けられるとともに、この架橋部に感温部が形成された赤外線センサにおいて、前記架橋部の長さa(0<a<L)にわたる部分で、任意の幅(>W)を持つ赤外線受光部を有することを特徴とする赤外線センサ。
IPC (3)：
G01J 1/02
, G01J 5/02
, H01L 31/08
