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J-GLOBAL ID:200903025943914140

E-Oプローブ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992102633
Publication number (International publication number):1994066845
Application date: Apr. 22, 1992
Publication date: Mar. 11, 1994
Summary:
【要約】【目的】 被検査物との微小距離を一定に保ち信号検出効率を良くする。【構成】 ガラスブロック1と、透明電極2と、E-O結晶3と、反射膜4と、電線5と、電極接続部6と、ガラスプレート7と、ガラスプレート7を支える上下方向にコンプライアンス性を有する保持部8とを含んで構成される。
Claim (excerpt):
角推形の石英ガラスの頂点を底面と平行面で削り取ったガラスブロックと、このガラスブロックの斜面と削り取った面とに同時に蒸着した透明電極と、前記ガラスブロックの削り取った面に接着するE-O結晶の薄板と、このE-O結晶の薄板上であって前記ガラスブロックと接着した面と反対面に位置する波長700μm〜900μmのレザービームを反射する誘電体多層反射膜と、前記ガラスブロックと前記E-O結晶の薄板との接着部分と、前記誘電体多層反射膜を多い被検査物に接する樹脂膜と、前記透明電極に電気的に接続する電線と、電線と透明電極とをつなぐ電極接続部と、前記ガラスブロックと前記電極接続部および電線を保持するガラスプレートと、前記ガラスプレートのE-O結晶が取り付けられた側と反対側に位置し上下方向にコンプライアンスを有する保持部とを含むことを特徴とするE-Oプローブ。
IPC (4):
G01R 19/00 ,  G01R 1/06 ,  G01R 15/07 ,  G01R 31/302
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
  • 特開平3-156379
  • 特開平3-156379
  • 特開平2-238276
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